5月16日,2020集成電路產業鏈協同創新發展交流會在北京和上海兩大主會場舉行,會上頒發了第三屆集成電路產業技術創新獎。”IC創新獎“重點鼓勵集成電路技術創新、成果產業化、產業鏈上下游合作,以體現大聯盟倡導全產業鏈合作的理念。北京七星華創流量計有限公司(以下簡稱七星流量計)生產的“CS300壓力不敏感氣體質量流量控制器”產品喜獲技術創新獎。
多年來,七星流量計始終致力于推動集成電路核心部件的國產化,旨在為集成電路設備企業提供優質的氣體流量測控產品,“CS300壓力不敏感氣體質量流量控制器”便是為集成電路行業的流量測控而生的產品,現已經在大規模集成電路行業實現批量應用。
做好一個適用于集成電路行業的高精度高穩定性的質量流量控制器,不是一件容易的事情,尤其是壓力不敏感型氣體質量流量控制器,因其技術壁壘高,我國集成電路行業使用的壓力不敏感MFC產品不得不長期采購國外品牌產品,為改變這一現狀,七星流量計的研發團隊深入了解客戶的工藝需求,從產品的設計結構、測控算法等方面入手,經過無數次假設論證,推翻重設,對產品原材料的嚴苛篩選,對一個個部件精心測試后,CS300壓力不敏感熱式氣體質量流量控制器誕生了。它采用全金屬密封的結構,熱式傳感器測量技術及壓力補償算法,可以精準地對被控氣體進行測量與控制,以滿足半導體產業的需要,在半導體和集成電路工藝等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。CS300壓力不敏感熱式氣體質量流量控制器的成功研制,填補了國內在該技術領域的空白,其各項技術指標達到國外同類產品的技術水平,形成了強有力的競爭。
41年來,七星流量計始終專注于氣體流量測控的研發制造,從研發到產業化,從生產出第一臺模擬式質量流量控制器到各行各業累計銷售超35萬臺,一步一個腳印,穩扎穩打,目前已經走過了艱難的“播種”階段,通過刻苦努力,不斷突破自己,力爭為產業界提供優質的產品。本次喜獲第三屆“IC創新獎”,是對我們的肯定,更是對我們的鞭策。未來,還有很多的技術需要我們去突破,還有很多座高山需要我們的翻越。春種一粒粟,秋收萬顆子。在無限可期的未來,七星流量計將繼續以飽滿的熱情去迎接挑戰!
【關于七星流量計】七星流量計已經推出超過30種氣體流量測控產品,為半導體、太陽能、燃料電池、真空鍍膜、分析儀器等行業客戶需求提供定制化氣體測控解決方案及產品維護服務,營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區。
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